MIT电子显微镜大突破 台湾电镜抢攻化工医材市

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2017年10月05日17:52

由科技部创新创业激励计划优胜团队的台湾电镜仪器,今日在矽导研发中心盛大开幕,并正式推出新一代的桌上型电子显微镜EM200S,除了突破过去电子显微镜无法观察含水样品的限制,并领先同时搭载扫描式与穿透式的桌上型电子显微镜,能对於精密零件扫描或复杂的化学制程动态过程进行检测,并大为降低建置奈微米分析设备成本,为产业提供全新的解决方案。台湾电镜董事长林俊吉表示,台湾电镜延伸清华大学电镜团队的核心技术,并在工研院创新育成的加持下,链结汉民科技在半导体设备的开发管理与服务经验,将在核心规格与创新功能上不断努力研发,并以液态检测电镜领航专家自诩,订定目标为全球产业提供40奈米以下液体粒子检出与湿式制程监控的优势技术,并提供最具性价比的小型电子束检测设备。工研院协理段家瑞表示,工研院积极推动以科技创新创业来协助产业转型优化,四年前看到充满潜力的清大电镜团队,看准传统电子显微镜有体积庞大、售价高的缺点,希望能运用自身的关键技术勇敢逐梦,投入桌上型电子显微镜的产业市场。工研院乐见这样潜力的创新,将自有的「流体输送控制」与「光学显微」技术与其结合以增加其对液态电子束分析上的能量,新创出能在液态下连续检测以及结合萤光共显微的崭新功能。此外,透过工研院创新工业技术移转股份有限公司(ITIC)的挹注,促使这些关键技术与潜力的创新能够真正商品化,完成创业的最後一哩路。本次新发表的EM200S是第一台搭载扫描式与扫描穿透式双影像侦测器(SEM/STEM)的桌上型电子显微镜,结合特殊的直接液态检测技术(采用对电子束

透明的特殊薄膜,将液体或挥发性软物质保存於真空中),可同时满足微米结构扫描量测与奈米粒子穿透分析,一台设备可检测从块材、粉体、胶体乃致流体的广泛样品类型,体积却是传统电子显微镜的五分之一,并深具价格优势。在半导体与电子制程检测、生技制药与医材检测与化工涂料检测上皆有广泛的应用。最新开发的DirectLiquid直接液态检测装置,具备可调整液体下景深距离的功能,是第一个可实现微奈米金属蚀刻即时观测的产品,搭配自主开发的分析软体,对於面板/电子业的金属线宽蚀刻或电镀等精密制程是非常有价值的解决方案。(吴秀桦/台北报导)

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